Tarče za razprševanje volframa
Tarče za razprševanje volframa
Tarče za razprševanje iz volframa igrajo ključno vlogo v različnih sodobnih tehnoloških aplikacijah. Te tarče so bistveni del postopka razprševanja, ki se pogosto uporablja v panogah, kot so elektronika, polprevodniki in optika.
Zaradi lastnosti volframa je idealna izbira za tarče za razprševanje. Volfram je znan po visokem tališču, odlični toplotni prevodnosti in nizkem parnem tlaku. Te značilnosti mu omogočajo, da prenese visoke temperature in bombardiranje z energijskimi delci med postopkom naprševanja brez znatne degradacije.
V elektronski industriji se tarče za razprševanje iz volframa uporabljajo za nanašanje tankih filmov na podlage za izdelavo integriranih vezij in mikroelektronskih naprav. Natančen nadzor postopka naprševanja zagotavlja enakomernost in kakovost nanesenih filmov, kar je ključnega pomena za delovanje in zanesljivost elektronskih komponent.
Na primer, pri proizvodnji ploščatih zaslonov tanki filmi volframa, naneseni z uporabo tarč za razprševanje, prispevajo k prevodnosti in funkcionalnosti zaslonskih plošč.
V sektorju polprevodnikov se volfram uporablja za ustvarjanje medsebojnih povezav in pregradnih plasti. Sposobnost nanašanja tankih in konformnih volframovih filmov pomaga pri zmanjševanju električnega upora in izboljšanju splošne učinkovitosti naprave.
Optične aplikacije imajo tudi koristi od volframovih razpršilnih tarč. Volframovi premazi lahko izboljšajo odbojnost in vzdržljivost optičnih komponent, kot so ogledala in leče.
Kakovost in čistost volframovih razpršilnih tarč sta izjemnega pomena. Tudi manjše nečistoče lahko vplivajo na lastnosti in delovanje nanesenih filmov. Proizvajalci uporabljajo stroge ukrepe za nadzor kakovosti, da zagotovijo, da cilji izpolnjujejo zahtevne zahteve različnih aplikacij.
Tarče za razprševanje iz volframa so nepogrešljive pri napredku sodobnih tehnologij, saj omogočajo ustvarjanje visokokakovostnih tankih filmov, ki spodbujajo razvoj elektronike, polprevodnikov in optike. Njihovo stalno izboljševanje in inovacije bodo nedvomno igrale pomembno vlogo pri oblikovanju prihodnosti teh industrij.
Različne vrste volframovih razpršilnih tarč in njihove uporabe
Obstaja več vrst volframovih razpršilnih tarč, od katerih ima vsaka svoje edinstvene značilnosti in uporabo.
Tarče za razprševanje iz čistega volframa: Sestavljeni so iz čistega volframa in se pogosto uporabljajo v aplikacijah, kjer so bistveni visoko tališče, odlična toplotna prevodnost in nizek parni tlak. Običajno se uporabljajo v industriji polprevodnikov za nanašanje volframovih filmov za medsebojne povezave in pregradne plasti. Na primer, pri izdelavi mikroprocesorjev napršenje s čistim volframom pomaga ustvariti zanesljive električne povezave.
Legirane tarče za razprševanje iz volframa: Te tarče vsebujejo volfram v kombinaciji z drugimi elementi, kot so nikelj, kobalt ali krom. Tarče iz legiranega volframa se uporabljajo, kadar so potrebne posebne lastnosti materiala. Primer je v letalski in vesoljski industriji, kjer bi lahko uporabili tarčo za naprševanje iz legiranega volframa za ustvarjanje premazov na komponentah turbine za večjo toplotno odpornost in odpornost proti obrabi.
Tarče za razprševanje volframovega oksida: Uporabljajo se v aplikacijah, kjer so potrebni oksidni filmi. Uporabljajo se pri proizvodnji prozornih prevodnih oksidov za zaslone na dotik in sončne celice. Oksidna plast pomaga izboljšati električno prevodnost in optične lastnosti končnega izdelka.
Kompozitne tarče za razprševanje iz volframa: Sestavljeni so iz volframa, kombiniranega z drugimi materiali v kompozitni strukturi. Uporabljajo se v primerih, ko je zaželena kombinacija lastnosti obeh komponent. Na primer, pri prevleki medicinskih pripomočkov se lahko uporabi kompozitna volframova tarča za ustvarjanje biokompatibilne in trajne prevleke.
Izbira vrste tarče za razprševanje iz volframa je odvisna od posebnih zahtev aplikacije, vključno z želenimi lastnostmi filma, materialom substrata in pogoji obdelave.
Uporaba volframove tarče
Pogosto se uporablja v ploščatih zaslonih, sončnih celicah, integriranih vezjih, avtomobilskem steklu, mikroelektroniki, pomnilnikih, rentgenskih ceveh, medicinski opremi, opremi za taljenje in drugih izdelkih.
Velikosti volframovih tarč:
Cilj diska:
Premer: 10 mm do 360 mm
Debelina: 1 mm do 10 mm
Planarna tarča
Širina: 20 mm do 600 mm
Dolžina: 20 mm do 2000 mm
Debelina: 1 mm do 10 mm
Rotacijski cilj
Zunanji premer: 20 mm do 400 mm
Debelina stene: 1 mm do 30 mm
Dolžina: 100 mm do 3000 mm
Specifikacije tarče za razprševanje volframa:
Videz: srebrno bel kovinski lesk
Čistost: W≥99,95%
Gostota: več kot 19,1 g/cm3
Stanje dobave: Površinsko poliranje, CNC strojna obdelava
Standard kakovosti: ASTM B760-86, GB 3875-83
